秦置广昌县，北魏撤广昌县并入灵丘县，隋仁寿元年（601年）改为飞弧县。明初复置广昌县。民国三年（1914年），因与江西省广昌县重名，改涞源县。以境内为涞水（即今拒马河，源于涞源县城西南）之发源地而得名。

1996年，涞源县面积2448平方千米，人口约25.8万人，辖6个镇、11个乡：涞源镇、银坊镇、走马镇、水堡镇、王安镇、杨家庄镇、下北头乡、南屯乡、北石佛乡、东团堡乡、上庄乡、留家庄乡、南马庄乡、金家井乡、烟煤洞乡、塔崖驿乡、乌龙沟乡。县政府驻涞源镇。

2000年第五次人口普查，涞源县常住总人口250790人，其中：涞源镇65695人，银坊镇14092人，走马驿镇15700人，水堡镇6552人，王安镇15213人，杨家庄镇15037人，下北头乡17466人，南屯乡9251人，南马庄乡10105人，北石佛乡17127人，金家井乡12399人，留家庄乡6173人，上庄乡13502人，东团堡乡14103人，塔崖驿乡6463人，乌龙沟乡6197人，烟煤洞乡5715人。

2002年，涞源县面积2448平方千米，人口约22.19万人。辖6个镇、11个乡，6个社区、285个行政村。县政府驻涞源镇开源路29号。

2009年，撤销下北头乡，设立为白石山镇（冀民函[2009]140号）；11月2日正式实施。

2010年第六次人口普查，涞源县常住总人口260678人，其中：涞源镇92691人，银坊镇12087人，走马驿镇15078人，水堡镇6787人，王安镇14163人，杨家庄镇13939人，白石山镇15488人，南屯乡8622人，南马庄乡8457人，北石佛乡17310人，金家井乡11126人，留家庄乡5622人，上庄乡11920人，东团堡乡12011人，塔崖驿乡6664人，乌龙沟乡5899人，烟煤洞乡2814人。

2013年，撤销南屯乡，设立南屯镇（冀民函[2013]247号）。调整后，全县辖8个镇、9个乡：涞源镇、银坊镇、走马驿镇、水堡镇、王安镇、杨家庄镇、白石山镇、南屯镇、马庄乡、北石佛乡、金家井乡、留家庄乡、上庄乡、东团堡乡、塔崖驿乡、乌龙沟乡、烟煤洞乡。